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CVD - Dépot sous vide

Les revêtements par dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) utilisent des procédés thermiques qui activent des réactions chimiques, le tout étant réalisé dans une enceinte sous vide.

Notre procédé mis en œuvre pour la réalisation du parylène est un dépôt de type CVD qui a la particularité d'avoir les réactions chimiques (et donc la phase chaude) dans une zone éloignée de celle où se trouve les pièces (technique dite de CVD déportée). Cette particularité nous permet de traiter tous types de pièces, notamment celles fragiles thermiquement car, tout au long du procédé, elles resteront à une température proche de l'ambiante. Le parylène est un film de haute technicité qui se dépose par condensation, sous vide, après sublimation et transformation de son précurseur. Il offre des propriétés de conformité et d'uniformité du fait de sa composition et de son procédé d’application. Il existe différents types de parylènes applicables à des composants techniques de faibles dimensions. Ses propriétés le rendent particulièrement recherché en tant que couche protectrice d’éléments sensibles à leur environnement. Enfin, ses propriétés diélectriques en font un matériau très fréquent dans des applications d’isolation électrique. Ainsi, le parylène est utilisé dans diverses industries telles que la micro-électronique, le médical, la micromécanique, la défense, les micro et nanotechnologies, …

 Avantages

  • Totalement uniforme, absence de trous
  • Peut se déposer sur des matériaux sensibles thermiquement de type silicones et élastomères
  • Revêtements de pièces complexes

 Paramètres clés

  • Épaisseur précisément paramétrable : de 500 nm à 100 microns
  • Température de mise en œuvre : inférieure à 40°C

 Revêtements

  • Parylène
 

 

 

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